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產品特性：可實現電子級氣體的持續不間斷安全供應；主要采用PLC控制，觸控屏為人機界面或數顯按鈕式操作界面。

主要特點：自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷。

適用場合：主要適用于IC 、TFT 、Solar 、LED等工廠惰性氣體的供氣需求。

適用氣體：惰性，如CF4,SF6,CHF3,Ar,He等。

氣源供應方式：Cylinder